手动分批式压力固化炉 – PCO 500

手动装载分批式压力固化炉，带传导加热板选项，适用于300mm晶圆。

• 固化炉尺寸（mm）： 1，800[L] x 1，400[W] x 1，700[H]
• 腔室可用面积（mm）： 350[L] x 350[W] x 227[H]
• 最大工作压力：12 bar （174 psi）
• 最高工作温度：
  • 200⁰ C（强制空气对流）
  • 350⁰ C（导板选项）
• 手动加载
• 外部冷却器选项

压力室内可选配传导板。

系统气流（自上而下）